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BNE TC1500
BNE自主研发的涂胶显影设备TC1500，适用于G-line、I-line、 PI等工艺，设备搭载高精度高稳定性的工艺模组，以确保稳定的工艺结果。 该设备占地面积小、 可靠性高、 易于维护， 可广泛应用于MEMS、功率器件、射频集成、 光通讯、 LED等领域。
产品详情
| Customized Development 定制化开发 | |
| 客制类型 | 工艺模组 |
| 涂胶Off-line设备 | 涂胶：COT（1~4） 冷/热板：CPL / LHP / HHP…… 边缘曝光：WEE |
| 显影Off-line设备 | 涂胶机：DEV（1~4） 冷/热板：CPL / LHP / HHP…… 边缘曝光：WEE |
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晶圆尺寸 |
8英寸(200mm) |
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产量 |
120wph（8寸）/180wph（6寸） |
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晶圆厚度 |
200~750μm， 支持自动匀胶、显影、喷胶功能， 配置AD增粘单元（HDMS单元） |
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基板 |
Si、 SiC、 GaAs、 GaN、 GaP、Glass、 Sapphire |
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工艺模组 |
涂胶/显影：
冷/热板：低温热板，高温热板， 增粘热板，冷板（最大支持18个冷热板） 边缘曝光： 可选配WEE功能 系统与通讯：
ROBOT：高稳定性双手臂 结构与配置：
Spin Arm：Sharm Arm（节省Resist Pump数量）or Individual Arm |
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技术参数 |
匀胶主轴电机：
胶厚均匀性：片内≤±1%，片间≤±1%； 显影均匀性要求 ：片内≤1%， 片间≤1%；（胶厚1μm时） 匀胶系统功能：HMDS、匀胶、 热板、冷板； 显影系统功能 ：显影、热板、冷板； 最大可覆盖台阶：150μm 针对倾角50°~60°之间的≥150µm台阶， 台阶底部喷胶厚度≥0.4倍台阶顶部喷胶厚度； 1/2台阶高度处喷胶厚度≥0.4倍台阶顶部喷胶厚度； 台阶顶点处喷胶厚度≥0.2倍台阶顶部喷胶厚度； 针对倾角89°~ 91°之间的≥150µm台阶，台阶底部喷胶厚度≥0.2倍台阶顶部喷胶厚度； 1/2台阶高度处喷胶厚度)≥0.1倍台阶顶部喷胶厚度； 台阶顶点处喷胶厚度≥0.1倍台阶顶部喷胶厚度。 低温热板： 高温热板： 设备腔体温湿度：THC， 21.0℃~25.0℃， ≤±0.1℃，30.0%～50.0%，≤±1% THK Uniformity： ≤±0.75%（粘度≤10CP，THK≤1μm） |
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外形要素 |
(W)1350mm*(D)1570mm*(H)2600mm |